X荧光光谱仪是利用初级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生荧光(次级X射线)而进行物质成分分析的仪器。当一束高能粒子(射线)在与原子的相互作用下，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能时，可以将该轨道的电子逐出，形成空穴。此时原子处于非稳定状态，在短时间内，轨道的外层电子向空穴跃迁，使原子恢复至稳定状态。在外层电子跃迁的过程中，两个壳层之间的能量差就以特征X射线的形式溢出，即产生了X荧光。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长，然后仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
X荧光光谱仪主要分为波长色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)两种：
波长色散型(WD-XRF)：
激发出的荧光足够强，测量数据准确。
灵敏度较高，所测数据不存在“灰色地域”。
需将被测材料粉碎压制成样本后测才准确，适用于材料厂等需要准确测量的场所。
能量色散型(ED-XRF)：
不破坏被测的材料或产品，操作简便。
可以同时测定样品中几乎所有的元素，分析速度快。
对铬和溴是总量测定，可能产生一定的测量误差，但通常不影响使用。
X荧光光谱仪的使用注意事项：
1.样品准备：确保待测样品干燥、无油污，避免杂质干扰测量结果。对于不规则样品，可使用压片机压制成规定形状的样品片。
2.开机与预热：按照仪器说明书正确开机，并进行预热，使仪器达到稳定状态。
3.仪器设置：根据待测样品的性质和分析需求，设置合适的测量模式、管电压、管电流等参数。
4.测量与记录：将样品放置在测量区域，启动测量程序。测量过程中，注意观察仪器显示的实时数据和光谱图，确保测量结果的准确性。测量完成后，及时记录测量数据和结果。
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